日本学術振興会 薄膜第131委員会 第32回 薄膜スクール


半導体やディスプレイを中心に研究開発と実用化が行われてきた薄膜の作製・評価・デバイス化技術は、今や原子レベルの制御を可能にする領域に踏み込んでいます。また、ナノテクノロジーやMEMS応用に代表される新技術も、これらの薄膜技術から端を発しておりますように、最先端デバイス技術を始めとして、数多くの産業分野で薄膜は幅広く利用されています。本委員会は、薄膜技術を活用、利用、使用している企業に、最新知識や情報を提供することを目的として活動の一貫として、薄膜技術の普及活動の一環として、1984年から毎年一回、若手研究者・技術者向けの「薄膜スクール」を開催してまいりました。

今年も、薄膜の基礎技術から応用まで系統的に学べる場を提供することを意図して、薄膜スクールを企画いたしました。薄膜技術によって開かれる新しい応用を考察するにあたって、研究・開発の参考にしていただきたいと考えています。また、スクール2日目午後には、2件のトピックス講演を予定し、夕食後にも恒例の薄膜四方山話を企画しております。

薄膜技術の新たな息吹と応用への旺盛な意欲に向けた開発・研究への指針にしていただきたいと考えています。薄膜技術の研究・技術開発に関心をお持ちの多数の皆様の御参加を期待しています。


  1. 趣旨: 薄膜の研究に従事する若手研究者・技術者を対象に、実用的な応用に役立てることを目的に、基本的な成膜技術、薄膜材料の特性、評価技術、等の基礎技術から、最新の研究動向や薄膜技術のトピックスを紹介する。テキストとして、丸善出版より刊行されている『薄膜工学 第2版』(本委員会編集、4,104円)を使用する。
  2. 日時: 2015年(平成27年) 7月1日(水)〜7月3日(金)
  3. 場所: サンパーク犬山
         〒484-0081 愛知県犬山市大字犬山字甲塚48-3
              TEL: 0568-62-7566
         JR名古屋駅新幹線口から名鉄名古屋駅まで、徒歩4分。
         名鉄名古屋駅から犬山駅まで、快速特急で26分(準急で36分)。
         中部国際空港から犬山駅まで、ミュースカイで、58分。
         犬山駅からサンパーク犬山まで、徒歩12分(タクシーで5分)。
    初日(7/1(水)12:20)および最終日(7/3(金)16:15)には、会場と犬山駅の間で送迎バスを準備しています。


  4. プログラム: こちらをご覧ください。
  5. 募集人員: 60名(定員になり次第、締め切ります。)
  6. 受講費: 薄膜第131委員会協力会員:      無料
          学生・院生:                 無料
          日本学術振興会他委員会協力会員:  10,000円
          大学,独立行政法人,他公的研究機関:10,000円
          一般:                     35,000円
            (テキストである『薄膜工学 第2版』一冊分を含みます。)
  7. 宿泊費: 25,000円(2泊食事代(朝、昼、夕、各2食)含む。相部屋になります。)
  8. 申し込み手続き:
  9. 申込締切り: 2015年6月5日(金)
  10. 世話人: 宮崎誠一(名古屋大)、堀 勝(名古屋大)、林 司(日新電機)、八瀬清志(産総研)、財満鎭明(名古屋大)

プログラム

7月1日(水) 7月2日(木) 7月3日(金)
9:00- 9:50 (50分)
 薄膜の基礎2(技術と応用)
  北川 雅俊(阪大)
9:50-10:.40 (50分)
 膜厚評価
  田畑 仁(東大)

10:40-11:00 休 憩

11:00-11:50 (50分)
 薄膜の結晶学的構造
  酒井 朗 (阪大)
9:00- 9:.50 (50分)
 力学的性質
  佐々木信也(東京理科大)
9:50-10:40(50分)
 光学的性質
  潮 嘉次郎(ニコン))

10:40-11:00 休憩

11:00-11:50(50分)
 誘電体薄膜
  中川原 修(村田製作所)
12:20 送迎バス 11:50-12:30 昼食 11:50-12:30 昼食
13:00-13:10 (10分)
 開会挨拶
  スクール校長 金原 粲(東大)
13:10-14:10 (60分)
 薄膜の基礎1(形成と物性)
  財満鎮明(名大)
14:10-15:10 (60分)
 真空蒸着(含形成過程)
  近藤高志(東大)
15:10- 16:10 (60分)
 スパッタリング
  森本章治(金沢大)

16:10-16:20 休憩

16:20-17:20 (60分)
 CVD 1(シリコン系)
 
 宮崎誠一(名大)
17:20-18:20 (60分)
 CVD 2(化合物半導体)
  杉山正和(東大)

18:20- チェックイン
12:30-13:20 (50分)
 半導体薄膜1(シリコン系)
  浅野種正(九大)
13:20-14:10 (50分)
 半導体薄膜2(化合物)
  藤原康文(阪大)

質問・相談タイム or 犬山散策

15:50-16:40
 薄膜のトピックス1
 パワー半導体
  恩田正一(デンソー)

16:40-17:30
 薄膜のトピックス2
 色素増感太陽電池の実用化研究
  加藤 直彦(豊田中研)
  土井 将一(アイシン精機)
  水元 克芳(アイシン精機)
12:30-13:20 (50分)
 磁性薄膜1(基礎)
  斎藤 伸(東北大)
13:20-14:10 (50分)
 磁性薄膜2(応用)
  二本正昭(中央大)
14:10-15:00(50分)
 化学的性質
  堀 勝(名古屋大)
15:00-15:50 (50分)
 有機薄膜
  八瀬清志(産総研)

15:50-16:00 
 修了式(修了証書授与)
  金原 粲 校長

 アンケート・名札回収

犬山駅行きバス(16:15頃出発)
19:00-20:00  夕食
20:00〜
 参加者自己紹介
 (お一人約1分)
(参加者はスライド1枚でプレゼン
テーションをお願いします。
pptまたはpdfファイルを事前に
世話人までお送りください。)
17:50-18:40 夕食

18:40-20:30 フリータイム
 希望者:鵜飼い船(19:00-20:10)
 (要事前予約)

20:30-21:30
 薄膜四方山話(内容フリー)
   多賀 康訓(中部大)
   吉田 貞史(産総研)

参考資料:犬山城下町散策マップ
参考資料:名鉄名古屋−犬山時刻表
 名古屋駅発
 犬山駅発


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薄膜スクール参加ご希望の方は、こちらの注意事項をよくお読みの上,申し込みページからお申し込みください。

問い合わせ先: 宮崎誠一(このウェブページに関する問い合わせは近藤までお願いいたします)