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実験装置

東京大学先端科学技術研究センターでは、連携活動を推進しています。 中学生・高校生・学部生向けの見学ツアーもリクエストに応じて年数回行っており、ご好評いただいています。 実験装置についてご興味がありましたらまずはお気軽に助教(五月女)までご連絡下さい。

実験装置





























ペロブスカイト型半導体蒸着装置1

　４つの蒸着セルを備え、ガスソースの成長にも対応してペロブスカイト型半導体を蒸着します。

ペロブスカイト型半導体蒸着装置写真

ペロブスカイト型半導体蒸着装置2

　４つの蒸着セルを備え、ペロブスカイト型半導体を蒸着します。 本装置を使った実験結果は、下記の論文などで使用されています：
  • H. Jung, Z. Liu, M. Sotome, and T. Kondo, "Vapor phase deposition of lead-free halide perovskite alloy CsSn1-xZnxBr3." Japanese Journal of Applied Physics, 63, 01SP24 (2024). DOI: 10.35848/1347-4065/acfdb3
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  • Z. Liu, H. Jung, M. Sotome, and T. Kondo, "Substrate temperature dependence of vapor phase deposition of all-inorganic lead-free CsSnBr3 perovskite thin films." Japanese Journal of Applied Physics, 63, 01SP23 (2024). DOI: 10.35848/1347-4065/ad1196

    • ペロブスカイト型半導体蒸着装置写真2

    ドラフト

    　溶液から結晶を成長させます。

    draft写真

    ホットプレート1

    　温度を0.1度の精度で制御し、ゆっくりと結晶を成長させます。

    Prisice_hotplate_v1写真

    ホットプレート2

    　ビーズバスで温度を制御し、結晶を成長させます。

    Beaz_buss_v1写真

    研磨機

    　結晶を研磨します。

    CM_polisher写真

    ドライオーブン1

    　試料の熱アニーリングなどをおこないます。

    Oven_DY300写真

    ドライオーブン2

    　試料の熱アニーリングなどをおこないます。

    Oven_DX300写真

    スピンコーター

    　フォトレジストをスピンコートします。

    Spin_coater写真

    真空蒸着装置(金属用)

    　金属を熱し、真空蒸着します。

    Metal_evapolator写真

    露光装置

    　レジストにHg灯で露光します。

    Hg_lamp写真

    紫外線表面処理装置

    　紫外線で基板の表面をきれいにします。

    UV_surface_photo1写真

    電子天秤

    　原料・試料の重さを量ります。

    Weight_measurer写真

    ヒーター炉

    　加熱昇華させ純度を高めた原料を得ます。

    Purifier_heater写真

    金属顕微鏡

    　最大100倍に拡大して観察します。

    Metal_microscope写真

    実体顕微鏡

    　電極付け等の作業をしやすくします。

    Microscope1写真

    原子間力顕微鏡(AFM)

    　薄膜の微細な構造を観察します。

    AFM写真

    レーザー励起発光分光

    　様々な波長のレーザーで試料を励起しその発光を観察します。最低温20度まで試料を冷却しながら発光スペクトルを0.1nmの分解能で測定可能です。本装置を使った実験結果は、下記の論文などで使用されています：
  • Hui Chen, Yongsheng Ren, Masato Sotome, Takashi Kondo, and Kazuki Morita, "Solid solubility and site preference of Ti in 3C-and 6H-SiC". Materialia, 21, 101369 (2022). DOI: 10.1016/j.mtla.2022.101369.

    • PL_optics写真

    屈折率評価システム

    　全反射を利用して屈折率を高精度に評価します。

    Refractive_index_instrument写真

    低温4端子システム

    　真空・低温で4端子測定を行います。

    LT_4probe写真

    交流ホール測定システム

    　ACホール測定を行い、高抵抗のペロブスカイト型半導体試料でも高精度に移動度を評価します。市販品がほとんどない先端機器です。

    AC-Hall_instrument写真

    THz実験システム

    　100fsファイバーレーザーを光源に、テラヘルツ波発生・テラヘルツ分光の実験を行います。785nmファイバーレーザーを使用したシステム、1560nm 100fsレーザーを光源としたシステムの２系統があります。 本装置を使った実験結果は、下記の論文などで使用されています：
  • T. Noma, H. Y. Chen, B. Dhara, M. Sotome, T. Nomoto, R. Arita, M. Nakamura, D. Miyajima, "Bulk Photovoltaic Effect Along the Nonpolar Axis in Organic–Inorganic Hybrid Perovskites." Angewandte Chemie, e202309055 (2023). DOI: 10.1002/anie.202309055

    • THz_optics写真

    顕微透過・反射分光システム

    　顕微で試料の透過率・反射率を400-2000nmで測定します。

    TR_optics写真


     

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